高純氧氣為純度≥99.999%的壓縮氣態氧,主要用于實驗研究。高純氧具備工業氧的所有特性,但較工業氧氣更純凈,無粉塵、鐵銹等雜質。包裝氣瓶均為40升無縫鋼瓶,但高純氧氣瓶在充裝前經過內拋光和抽真空處理。